快適な操作性が好評のαシリーズ評価・解析に幅広いニーズに対応 ショックアブソーバーの採用で常にソフトなコンタクトを実現しています。 大型のプラテンを採用し、余裕のマニピュレーターの搭載を実現しています。 またプラテンが上下することで、一括で針のZ調整ができます。 操作性を考慮した前明きの形です。ウエハーのロード/アンロードが容易にできます。

Zは3段階切り替え

レバーの操作により、3段アクションのＺドライブが可能です。アライン（位置合わせ）はウエハーから約300μm針を離して行うので、顕微鏡の焦点からはずれないでステージが移動でき、かつローディング／アンローディングのときは、5.0mm離れますので安全に操作できます。

ステージ移動が簡単で正確です

ステージ移動ノブについている移動用スイッチにより、自在にステージをＸＹに移動させることができます。範囲はＸＹ共に各チャックサイズと同等を実現しています。

確実なアライメント

マイクロメーター付の高精度精密ステージをXYZθに採用しています。プローブカード装着時のアライメントも簡単にできます。

装置仕様

• 本体寸法（本体のみ） 奥行：500mm幅：500mm　高さ：330mm
• 重量（本体のみ） 40ｋｇ
• ステージトラベル（粗動） X:200mm、　Y:200mm
• サブステージトラベル（微動） X:14mm、　Y:14mm
• チャック径 4?8inch
• ウエハー保持 真空吸着方式（400mmHg以上）